50多项国际四探针测试仪领域的专利!

1.高重复性,重复性≤ ±0.02% (静态或者标准电阻); 

2.扫描速度快的四探针电阻率测试仪:一分钟49个测量点;  

3.较小的边缘修正:即片子边缘1.5mm以内区域都能测量; 

美国Creative Design Engineering, 简称“CDE”，成立于1995年，位于美国加州硅谷的库比蒂诺 – Cupertino, CDE公司专注于四探针设备的生产和销售，累计销量达1000台以上，遍布世界各大半导体Fab, 太阳能光伏企业，大学及科研机构，“CDE”是四探针领域的知名品牌。

CDE的使命是开发和制造生产高价值的，高性能，成本低为半导体制计量产品及相关行业

CDE已制造并交付了超过1000 套resmap电阻率测试系统，大约24%用于 300mm测量，该公司已交付的太阳能电池的开发和生产支持多个单位。

CDE是位于硅谷的心脏地带，提供世界范围内的销售和服务代表网络支持。

特点简述:
CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及专利自动决定范围量测与传送,通过性高 * 数字测量方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且可以Recipe设定更换.

CDE 提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速，精确与软件控制下针、软件功能优化下针压力，即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作，双针头切换。太阳能使用可支持自动Loader，300mm 机台可使用Front End，至多扩充3个量测单元，支持Semi标准接口。
CDE　ResMap–CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的设备。

美国CDE公司的四探针/方块电阻/电阻率测试设备：178（普及型号）

 测量尺寸：晶圆尺寸：2-8寸（273系列可测量大至12寸晶圆，575系列可测量大至450mm 18寸晶圆）

               方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

· 测量范围： 0.001欧姆/平方 至 500000欧姆/平方（标准型）

· 测量方式： 电脑程序自动测量，或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示，此时非常适合测试不规整样片单点测量，适合实际研究需要。

· 测量的数据： 方块电阻/电阻率/薄膜厚度，根据具体应用可以设置不同测量程序。

· 测量的点数： 程序编排任意测量点位置及测量点数量，对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。

· 测量的精确度：<0.1% （标准模阻）；

· 测量重复性：重复性≤ ±0.02% (静态或者标准电阻)

· 测量速度：>49点/分钟；

· 测量数据处理：根据需要显示2D,3D数值图，或按要求统计并输出Excel格式文件；

· 边缘修正：具有边缘修正功能，即片子边缘1.5mm以内区域都能测量；

· 软件控制下针：快速，精确与软件控制下针、软件功能可优化下针压力，即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作，双针头切换。

· 探针压力可调范围：软件控制,90-200克之间可调；

· 可供选择的探头类型：根据测试不同工艺要求有A, B,K, M, N等相关型号探头选择，另外还可提供专门为客户定制的应用特殊要求的探针.

· 太阳能使用可支持自动Loader，300mm 机台可使用Front End，至多扩充3个量测单元，支持Semi标准接口。

· 设备应用：

IC FAB/FP dispaly/LED：扩散，离子注入等掺杂工艺监控调试，薄膜电阻率或厚度测量等工序，如

Apple ADL Engineering, Inc.ADL Engineering, Inc.Air ProductsAixtron, Inc.Amkor

Amkor Technology Singapore Holding Pte. LtdApplied Materials, Inc.ASE

ASM Microchemistry Ltd.ATMIAtotechAvantor Performance Materials

Beijing NMC Co., Ltd.ChipBond ChipMOS Clarkson University

Fujimi CorporationISMI Giraffe Microelectronics Co. Ltd. (Qinghua University)

Hionix Hynix IBM Inter molecular

JiangSu Lam Research Lam Research SEZ/Aus

Leading Precision, Inc Maxim Integrated Products

MEMC Northrop Grumman PacTech

Powertech Technology Inc. Siltronic Samsung Wafer Pte. Ltd.

Siltronic Spansion SPIL SUMCO TEL NEXX, Inc.TSMC University of California

Intel，IBM，Motorola，TSMC，CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,,Osram,…

中国购买用户:

科研客户：清华大学 北京大学 上海交通大学 天津大学 浙江大学 中山大学 浙江师范大学 ?复旦大学 北京师范大学 河北大学  。。。。。。

Resmap178

Resmap178型四点探针测试仪是专门为光伏电池生产企业设计的一款产品。提供可靠，准确和重复性好的四点探针测试技术。Resmap178已经在太阳能电池衬底和导电薄膜上证明了其测试电阻率的可靠能力。

提供NIST标准片6片!

产品特点：操作简单、快速精确

电阻测量范围：1 mΩ/ – 5 MΩ/

典型应用：非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等

美国CDE专利技术: 可针对材料(不同材料、软硬薄膜或离子植入深或浅等条件，对下针状况优化。而此功能是可由软见操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻烦的硬件调整。

测试性能指标：

探针材料 WC

探头寿命> 500W次

测量：

电阻率面扫描2D，3D图：

控制空间光调制器（SLM）的不同控制方法小结        最近因为我自己做实验要使用空间光调制器（SLM），而自己完全一窍不通，经过一段时间的摸索学习后，找到了几种控制SLM的方法。前面一直想写没时间，刚好明天要去清华交流，今天晚上得闲有点时间，就回顾小结一下。前面找资料时，感觉国内这方面的资料挺少的，这里写google能检索到，说不定可以给以后做信息光学的后来人抛砖引玉。

       空间光调制器作（SLM）为一种光学常用的调制波前的光学器件，在信息光学里面有着广泛的应用。现在大部分的SLM的工作原理都是类似SLM是计算机的第二屏幕，就类似于投影仪的地位一样，你把你的信息能显示在你计算机上的第二个屏幕，就能把这些信息显示在SLM上，这样你就把信息加载到了SLM上。所以基于这个原理个人摸索出了以下四种方法：

     一，用SLM的自带软件控制，这个就不说了，没什么好说的。缺点是一次只能加载一个二维信号进去。

     二，用PPT来控制。你没看错，就是用office里的PowerPoint来控制SLM。根据前面讲的原理，再联想你每次做报告，播放PPT时投影仪会全屏显示你PPT的内容。这样你就很容易理解了，播放PPT就可以把二维信号全屏播放到SLM上去了，这样就实现了对SLM的控制。优点是简单，可以依次加载多个二维信号，缺点是不够精确不能编程控制，不能加载大量二维信号，譬如上千张图片。

    三，用MATLAB来控制。MATLAB作为常用的学术编程语言，简单强大，大家基本都会用，所以用MATLAB控制SLM估计也是很多做研究的想要用的方法，个人反正第一反应就是希望能用MATLAB来控制的。要用MATLAB控制SLM，首先得下一个工具箱Psychtoolbox安装上去，具体安装及使用方法可以参考这个网页：

http://wavefrontshaping.net/index.php/groups-in-the-world/57-community/tutorials/spatial-lights-modulators-slms/52-how-to-control-a-slm

用MATLAB控制SLM方法的优点是简单，在现有编程基础上不需要学新的东西，并且可以编程精确控制，可以编程读取大量二维信号文件，缺点是只能控制SLM，不能和其他实验器件组成反馈系统。

      四，用LabVIEW控制SLM。这个是我最理想的控制方法，因为LabVIEW作为专门的仪器编程软件，再控制测量方面，这种语言有着天生的优势。可以让计算机把SLM和其他仪器组成一个系统，实现他们的同步，这对于高速采样测量的情况有着重要的意义。缺点是这种语言相当于MATLAB要小众一些，得重新学习，比较话费时间，我就是花了两周的时间从零开始学习才把我说要实验的功能的VI程序写好，郁闷。。。另外安装LabVIEW也是件耗时的事哎，跟安装MATLAB一样，感觉大型编程软件安装都挺耗时的。

      以上的四种方法就是我个人了解的四种方法，毋庸置疑，肯定还有其他的方法。但个人能力有限，对于我而言，我已经找到了自己想要的控制方法，鉴于当初要用SLM而无处下手的苦闷，所以在这里写了一点经验希望能给后来苦闷的人有所参考。看自己能不能空闲了，再找个时间具体写写如何用LabVIEW控制SLM和CCD，并把相应的程序传到CSDN里去。

转自https://blog.csdn.net/lvmeng987/article/details/41327815

感谢网友:lvmeng987